Introductory MEMS : Fabrication and Applications （2010）

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Introductory MEMS : Fabrication and Applications （2010）

Adams, Thomas M./ Layton, Richard A.

ウェブストア価格 ¥19,511（本体¥17,738）
Springer-Verlag New York Inc.（2014/09発売）
外貨定価 US$ 89.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 440 p.
言語 ENG
商品コード 9781489984210
DDC分類 621

Full Description

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques.