Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments (MEMS Reference Shelf) （2011）

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Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments (MEMS Reference Shelf) （2011）

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  • 製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 232 p.
  • 言語 ENG
  • 商品コード 9781461428824
  • DDC分類 621

Full Description

This book reviews state-of-the-art Silicon Carbide (SiC) technologies. It includes reviews of MEMS devices and provides a framework for the joining of electronics and MEMS along with packaging into usable harsh-environment-ready sensor modules.

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