Ion Implantation: Basics to Device Fabrication (The Springer International Series in Engineering and Computer Science)

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Ion Implantation: Basics to Device Fabrication (The Springer International Series in Engineering and Computer Science)

Rimini, Emanuele

ウェブストア価格 ¥55,964（本体¥50,877）
Springer-Verlag New York Inc.（2014/02発売）
外貨定価 US$ 249.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 393 p.
言語 ENG
商品コード 9781461359524
DDC分類 620

Full Description

Ion implantation offers one of the best examples of a topic that starting from the basic research level has reached the high technology level within the framework of microelectronics.