Nanolithography and Implications on Circuit Design

個数：

Nanolithography and Implications on Circuit Design

Pan, David Z. (EDT)

ウェブストア価格 ¥27,062（本体¥24,602）
Springer Verlag（2013/04発売）
外貨定価 US$ 129.00
ポイント 246pt

在庫がございません。海外の書籍取次会社を通じて出版社等からお取り寄せいたします。
通常6～9週間ほどで発送の見込みですが、商品によってはさらに時間がかかることもございます。
【重要ご説明事項】
1. 納期遅延や、ご入手不能となる場合がございます。
2. 複数冊ご注文の場合は、ご注文数量が揃ってからまとめて発送いたします。
3. 美品のご指定は承りかねます。

●3Dセキュア導入とクレジットカードによるお支払いについて

【入荷遅延について】
世界情勢の影響により、海外からお取り寄せとなる洋書・洋古書の入荷が、表示している標準的な納期よりも遅延する場合がございます。
おそれいりますが、あらかじめご了承くださいますようお願い申し上げます。

◆画像の表紙や帯等は実物とは異なる場合があります。

◆ウェブストアでの洋書販売価格は、弊社店舗等での販売価格とは異なります。
また、洋書販売価格は、ご注文確定時点での日本円価格となります。
ご注文確定後に、同じ洋書の販売価格が変動しても、それは反映されません。

製本 Hardcover:ハードカバー版
言語 ENG
商品コード 9781441961563
DDC分類 621

Full Description

This book provides a comprehensive and updated 'state-of-the-art' compilation on nanolithography and implications on future nanometer IC designs. Its scope in a bottom-up manner, includes the underlying equipment and process issues for nanolithography, the computational lithography aspects, and the key design and CAD issues and possible solutions. The subjects covered include: introduction of nanolithography process and trends; computational lithography (including lithography simulations, OPC, inverse lithography, pixilated mask, source mask optimization, etc.); lithography-aware analysis & design; and, future lithography technologies and EDA impact.

Optical Lithography Process and Trends.- Computational Lithography.- Litho-aware Analysis and Design.- Future Lithography Technologies and EDA Impact.