スパッタリング工学ハンドブック（第２版） Handbook of Sputter Deposition Technology : Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS （2ND）

スパッタリング工学ハンドブック（第２版）<br>Handbook of Sputter Deposition Technology : Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS （2ND）

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スパッタリング工学ハンドブック（第２版）
Handbook of Sputter Deposition Technology : Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS （2ND）

Wasa, Kiyotaka

ウェブストア価格 ¥34,740（本体¥31,582）
William Andrew Publishing（2012/10発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 660 p.
言語 ENG
商品コード 9781437734836
DDC分類 621.38152

基本説明

This thoroughly updated new edition includes an entirely new team of contributing authors with backgrounds specializing in the various new applications of sputtering technology.

Full Description

This thoroughly updated new edition includes an entirely new team of contributing authors with backgrounds specializing in the various new applications of sputtering technology. It forms a bridge between fundamental theory and practical application, giving an insight into innovative new materials, devices and systems.

Organized into three parts for ease of use, this Handbook introduces the fundamentals of thin films and sputtering deposition, explores the theory and practices of this field, and also covers new technology such as nano-functional materials and MEMS.

Wide varieties of functional thin film materials and processing are described, and experimental data is provided with detailed examples and theoretical descriptions.

Thin Film and Nano-materials
Thin Film and Nanomaterial Processes
Sputtering Phenomena
Computer Simulation of Sputtering
Sputtering Systems
Deposition of Compound Thin Films
Nanometer Materials and Devices
Microfabrications