ゲート誘電体材料の基礎 Materials Fundamentals of Gate Dielectrics （2005. VIII, 476 p.）

ゲート誘電体材料の基礎<br>Materials Fundamentals of Gate Dielectrics （2005. VIII, 476 p.）

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ゲート誘電体材料の基礎
Materials Fundamentals of Gate Dielectrics （2005. VIII, 476 p.）

Ed. by Alexander A. Demkov and Alexandra Navrotsky

ウェブストア価格 ¥38,294（本体¥34,813）
Springer（2005/11発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 476 p.
言語 ENG
商品コード 9781402030772

基本説明

Presents the fundamentals of novel gate dielectrics that are being introduced into semiconductor manufacturing to ensure the continuous scaling of CMOS devices.

Full Description

Materials Fundamentals of Dielectric Gates treats materials fundamentals of the novel gate dielectrics that are being introduced into semiconductor manufacturing to ensure the continuous scaling of the CMOS devices. Since many of the problems encountered in the world of CMOS are also relevant for other semiconductors such as GaAs, a comprehensive review of recent developments in this field is thus also given