Silicon Molecular Beam Epitaxy : Volume II

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Silicon Molecular Beam Epitaxy : Volume II

Kasper, E.

ウェブストア価格 ¥55,968（本体¥50,880）
CRC Press（2017/12発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 306 p.
言語 ENG
商品コード 9781315897523
DDC分類 621.38152

Full Description

This book focuses on homoepitaxy with the necessary systems, techniques, and models for growth and dopant incorporation. It discusses the obstacles any new technology must overcome to be commercially successful with specific references to the challenges confronting Silicon-Molecular Beam Epitaxy.

9. Principles of Heteroepitaxy 10. Epitaxial Silicides 11. Silicon-Based Semiconductor Heterostructures 12. Assessment of Layers 13. Industrial Application: Perspective and Requirements 14. Industrial Application: Possible Approaches 15. Molecular Beam Epitaxy of Silicon Materials: A Bibliography 1962 - 1985