Handbook of Thin Film Process Technology : 98/2 Recipes for Optical Materials

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Handbook of Thin Film Process Technology : 98/2 Recipes for Optical Materials

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 135 p.
  • 言語 ENG
  • 商品コード 9781315893693
  • DDC分類 621.38152

Full Description

The Handbook of Thin Film Process Technology is a practical handbook for the thin film scientist, engineer and technician. This handbook is regularly updated with new material, and this volume presents additional recipe-type information (i.e. important deposition system details and process parameters) for optical materials.

Contents

1. Physical Depositon Techniques 2. Chemical Depositon Techniques 3. Processing Technologies 4. Real-Time Diagnostics 5. Surface Modification in Vacuum 6. Superlattices and Multi-Layered Structures 7. Materials

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