Ohring's Materials Science of Thin Films : Deposition and Structure （3RD）

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Ohring's Materials Science of Thin Films : Deposition and Structure （3RD）

Kubart, Tomas/ Sarakinos, Kostas/ Abadias, Grégory

ウェブストア価格 ¥27,272（本体¥24,793）
Academic Press Inc（2026/04発売）
外貨定価 US$ 130.00
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 784 p.
言語 ENG
商品コード 9780128225400

Full Description

Ohring's Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, Third Edition is an ideal resource for science and engineering students in advanced undergraduate or first-year graduate level courses on thin films as well as scientists and engineers who are entering the field or require an overview of thin films. The book provides the most comprehensive coverage of materials science and technology related to thin films and coatings of any book, bringing the most important advances made since the publication of the previous edition. All chapters have been fully revised and include new illustrations, examples, and exercises.

1. Introduction to Thin Films
2. Vacuum Science and Technology
3. Thin-Film Evaporation Processes
4. Discharges, Plasmas, and Ion-Surface Interactions
5. Plasma and Ion Beam Processing of Thin Films
6. Chemical Vapor Deposition
7. Substrate Surfaces and Thin-Film Nucleation
8. Epitaxy
9. Film Structure
10. Characterization of Thin Films and Surfaces
11. Interdiffusion, Reactions, and Transformations in Thin Films
12. Mechanical Properties of Thin Films