出版社内容情報
編集委員
林康明 京都工芸繊維大学
執筆者
林 康明 京都工芸繊維大学
中野俊樹 防衛大学校
堀 勝 名古屋大学
豊田浩孝 名古屋大学
林 康明 京都工芸繊維大学
白藤 立 京都工芸繊維大学
林 康明 京都工芸繊維大学
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☆目次
電子工業のこの半世紀間の目覚ましい発展は周知のとおりであるが, その中で特に真空を
利用した薄膜材料作製や加工プロセス技術が大きな役割を果たしてきた。従来のウェット
な材料プロセスが物理的あるいは化学的ドライプロセスに置き代わり, 純度や制御性の良
いプロセスが可能となったからである。さらに, 真空中でのプロセスを低温で効率的にあ
るいは熱的非平衡状態で進行させることのできるプラズマ化学反応プロセスが, 20～30年
ほど前より注目され始ｑ1章 プラズマプロセスの制御とモニタリング
