薄膜の力学的特性評価技術 - トライボロジー・内部応力・密着性

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薄膜の力学的特性評価技術 - トライボロジー・内部応力・密着性

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  • サイズ B5判/ページ数 610p/高さ 27cm
  • 商品コード 9784947655523
  • Cコード C3055

出版社内容情報

編集委員長
 金原粲 東京大学
編集委員
 河野彰夫、生地文也、馬場茂 理化学研究所、大阪大学、成蹊大学
執筆者
 河野彰夫 編 
 河野彰夫 理化学研究所
 塚本雄二 日本電気
 山本靖則 島津製作所
 金沢憲一 千葉工業大学
 野呂瀬進 帝京大学
 三宅正二郎 日本工業大学
 稲川幸之助 日本真空技術
 三科博司 理化学研究所
 三矢保永 名古屋大学
 河野彰夫 理化学研究所
 生地文也 大阪大学
 馬来国弼 横浜市立大学
 生地文也 大阪大学
 梅野正隆 大阪大学
 生地文也 大阪大学
 中島信一 大阪大学
 西野種夫 神戸大学
 馬来国弼 横浜市立大学
 生地文也 大阪大学
 梅野正隆 大阪大学
 中島信一 大阪大学
 西野種夫 神戸大学
 馬来国弼 横浜市立大学
 馬場茂 編 
 松田七美男 東京電機大学
 岩田誠一 日立製作所
 木村文人 那須ニコン
 草開稔 大阪市立大学
 村川正夫 日本工業大学
 新井透、渡辺三千雄 豊田中央研究所
 橋本英彦 三井石油化学工業
 蓮山寛機 久留米工業大学
 塩田良幸 プロメトロンテクニクス
 馬場茂 成蹊大学

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☆目次
第1編 薄膜のトライボロジー
第1章 薄膜の硬さ

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