出版社内容情報
■ 監修 ■
（社）精密工学会 超精密位置決め専門委員会
■ 編集委員長 ■
大塚 二郎／静岡理工科大学理工学部機械工学科 教授
■ 編集委員 ■（五十音順）
内田 悦行／愛知工業大学工学部情報通信工学科 教授
大塚 行治／（株）ミツトヨ商品開発部 主任研究員
大橋 康二／ケーエスエス（株） 顧問
故坂戸 啓一郎／（株）ニコン特機事業室特機設計部第3グループ 次長
白石 昌武／茨城大学工学部システム工学科 教授
辻内 敏雄／豊田工機(株)新規事業部RP室 室長
羽根 一博／東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻 教授
深田 茂夫／信州大学工学部機械システム工学科 助教授
福田 真／日本電信電話(株)通信エネルギー研究所 主幹研究員
諸貫 信行／東京都立大学大学院工学研究科機械工学専攻 助教授
■ 執筆者 ■ 69名
第 １ 編 技術動向と次世代システムの予測
序 章 精密位置決め技術への展望
第 １ 章 総論
第１節 精密・超精密位置決め技術までの道のりと位置決めの基礎
第２節 精密・超精密位置決め技術の現状
第３節 超精密位置決めが可能になった理由
第４節 期待される次世代技術と問題点
第 ２ 章 精密位置決め技術の現状
第１節 技術の動向
第２節 実用化の動向
第 ３ 章 次世代精密位置決めシステムの構成と技術予測
第１節 半導体露光装置
第２節 工作機械
第３節 ３次元座標測定機
第４節 ＯＡ機器
第 ２ 編 個別技術の現状と将来
第 ４ 章 基幹性能を支配する現象と要因
第１節 形と運動の精度の定義と支配要因
第２節 弾性変形
第３節 熱変形
第４節 振動特性
第５節 シミュレーション技術
第６節 界面特性とトライボロジー
第７節 環境とその制御
第 ５ 章 精密位置決めシステムの構成要素技術
第１節 基本構造体
第２節 案内要素
第３節 動力伝達機構
第４節 アクチュエータ
第５節 位置センサと検出システム
第 ６ 章 精密位置制御技術
第１節 制御対象の表現
第２節 制御の基本であるＰＩＤ方式
第３節 現代制御理論による方法
第４節 ロバスト制御法
第５節 ２自由度制御法
第６節 位置決めにおける非干渉制御法
第７節 複合サーボ系
第３ 編 性能評価と次世代技術実現のための課題
第 ７ 章 基幹性能評価技術
第１節 評価方法とアルゴリズム
第２節 評価用センシング技術
第３節 基幹性能評価技術のまとめ
第 ８ 章 次世代システムの構築と設計手法の体系化の試み
第１節 精密位置決め技術をとりまく状況の変遷と次世代システムの可能性
第２節 計測技術の展望と課題
第３節 体系的設計手法に対する考察
まとめ
