超精密生産技術大系 〈第３巻〉 計測・制御技術 河野嗣男

フジ・テクノシステム（1995/07発売）

• サイズ B5判／ページ数 952p／高さ 27cm
• 商品コード 9784938555474

出版社内容情報

■ 監修 ■

　小林　昭／HiMEP研究所所長
　　　　　

　■ 編集代表 ■

　河西　敏雄／埼玉大学工学部教授

　■ 第３巻編集委員長 ■

　河野　嗣男／東京都立科学技術大学工学部機械
　　　　　　　　　　システム工学科教授

　■ 第３巻編集委員 ■

　枝村　孝夫／（株）日立製作所生産技術研究所
　　　　　　　　　　　第２部主任研究員
　小野　明／（株）東芝生産技術研究所生産システム
　　　　　　　　　　　研究部研究主幹
　桝田　正美／（株）日立製作所生産技術研究所
　　　　　　　　　　　主管研究員

　■ 執筆陣 ■　　　130名


第１編　総論
第２編　超精密計測・制御基礎論
第３編　計測技術
第４編　超精密生産用制御技術
第５編　超精密のための分析技術
第６編　超精密計測・制御の実際