Ｃ＆Ｃ文庫 シリコン産業と技術マップ

山本 重雄【著】

ＮＥＣメディアプロダクツ（1993/07発売）

• サイズ B40判／ページ数 146p／高さ 18cm
• 商品コード 9784930916853
• NDC分類 549.8
• Cコード C0260

内容説明

金属シリコンの製造、ウエハ加工など川上のシリコン技術について、その全体像を歴史的、かつ具体的なデータで考察し、著者独自の見解をまじえながらわかりやすく解説。

目次

１　シリコン産業とその技術マップ
２　シリコン技術の展望
３　高純度シリコン産業
４　ウエハ製造技術
５　エピタキシャル技術をめぐって
半導体の基礎用語