目次
第１章 序論
第２章 バイポーラトランジスタの動作機構
第３章 ＭＯＳトランジスタの動作機構
第４章 ＵＬＳＩデバイス構造
第５章 微細加工技術
第６章 材料プロセス技術
第７章 信頼性と検査技術
第８章 ＵＬＳＩの新展開
著者等紹介
菅野卓雄［スガノタクオ］
昭３４東大大学院数物電気了、工博。同年、東大・工・電気・講師（専任）、昭３５同大学・電子・助教授、昭４１同教授、平３工学部長、平４東大名誉教授、東洋大教授、平６東洋大学長、平１２同大学理事長、平１８東洋大名誉教授、この間固体電子工学の研究、教育に従事。平７紫綬褒章、平１８瑞寶重光章、平２３文化功労者、昭４９本会業績賞、平４本会功績賞、ＩＥＥＥ Ｊａｃｋ Ａ．Ｍｏｒｔｏｎ Ａｗａｒｄ、平７ＩＥＥＥ Ｌｉｆｅ Ｆｅｌｌｏｗ、平１３ＮＥＣ Ｃ＆Ｃ賞、平１７応用物理学会業績賞、平１９国立交通大学（台湾）栄誉教授、平２０国立成功大学（台湾）栄誉教授、平２１科学専業奨章（台湾）
伊藤隆司［イトウタカシ］
昭４４東工大・理工・電子卒、昭４９同大学院博士了、工博。同年、富士通株式会社入社、（株）富士通研究所半導体研究部長、シリコンテクノロジ研究所長を経て、平１５富士通株式会社技師長兼あきる野テクノロジセンタ長、兼産総研先端ＳｏＣ連携研究体長。平１６東北大大学院工学研究科教授、平２２定年退職。東工大特任教授を経て、広島大客員教授。本会、ＩＥＥＥ、ＪＳＡＰ各フェロー。大河内賞、オーム賞、山崎貞一賞、渡辺賞、手島賞、文科大臣表彰科学技術賞、ＳＳＤＭ Ａｗａｒｄ等を各受賞（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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