新材料・新素材シリーズ ＭＥＭＳマテリアルの最新技術

江刺 正喜【監修】

シーエムシー出版（2007/11発売）

• サイズ B5判／ページ数 368p／高さ 27cm
• 商品コード 9784882319689
• NDC分類 530
• Cコード C3053

目次

序章　ＭＥＭＳの基礎と応用
第１章　ＭＥＭＳ材料（圧電薄膜（ＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ）
カーボンナノチューブ　ほか）
第２章　ＭＥＭＳの製作（レジスト塗布・露光技術；エッチング技術　ほか）
第３章　ＭＥＭＳデバイス（ＭＥＭＳジャイロ；時間・周波数源用ＭＥＭＳ共振子　ほか）
第４章　ＭＥＭＳ周辺と応用（身の回りの機械に使われているＭＥＭＳ（東北大学‐早稲田塾のスーパーナノメカニクスプログラム）
静電容量型ＭＥＭＳセンサ用ＬＳＩ　ほか）

著者等紹介

江刺正喜［エサシマサヨシ］
東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センターセンター長、教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。