目次
第１章 無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法 ほか）
第２章 無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置 ほか）
第３章 無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力 ほか）
第４章 無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用 ほか）
第５章 最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか）
著者等紹介
上條榮治［カミジョウエイジ］
龍谷大学名誉教授。ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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