目次
序論 三次元積層技術の課題と展望
第1章 設計技術
第2章 TSV(シリコン貫通電極)
第3章 接合技術
第4章 インターポーザー
第5章 アプリケーション
第6章 関連材料
第7章 信頼性
著者等紹介
福島誉史[フクシマタカフミ]
東北大学 大学院医工学研究科/工学研究科 教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。
序論 三次元積層技術の課題と展望
第1章 設計技術
第2章 TSV(シリコン貫通電極)
第3章 接合技術
第4章 インターポーザー
第5章 アプリケーション
第6章 関連材料
第7章 信頼性
福島誉史[フクシマタカフミ]
東北大学 大学院医工学研究科/工学研究科 教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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