内容説明
本書は、主として一般の機械部品に対するＰＶＤ・ＣＶＤ皮膜の応用を採り上げ、実施例を編を分けて詳細に記述し、さらに基礎編を設け原理原則を明らかにし、技術の理解とその発展に役立つように配慮しました。
目次
第１編 ＰＶＤおよびＣＶＤの概要（ＰＶＤおよびＣＶＤの基礎的事項；プラズマ技術の基礎と薄膜形成；ドライプロセスによる薄膜の結晶配向性、モルフォロジと諸特性 ほか）
第２編 ＰＶＤ皮膜の種々の応用例（工具・金型への応用例；機能部品への応用例；装飾用部品への応用例 ほか）
第３編 ＣＶＤ皮膜の種々の応用例（工具および金型への応用例；機能部品への応用例；耐食性・耐熱機能皮膜としての応用例 ほか）
