目次
第１章 クリーンルーム設計の予備知識（クリーンルームとは；クリーンルームに使用される構成部材・関連設備；クリーンルーム関連計測機器・用品）
第２章 クリーンルームの計画・設計（クリーンルームの計画；クリーンルームの設計）
第３章 クリーンルームの施工（クリーンルーム施工のポイント；クリーンルーム施工の合理化；クリーンルームの安全性）
第４章 クリーンルームの性能評価（クリーンルームに関する規格類；性能評価試験；空気中の分子汚染物質（ＡＭＣｓ））
第５章 クリーンルームの維持管理（モニタリングと作業者の管理；衣服・清浄化・設備）
感想・レビュー
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まつ
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クリーンルームの導入検討にあたって参考にしました。タイトルどおりの内容で、全般的に知識を得られました。クリーンルームという言葉が独り歩きしているようなときに読むと、定義や概念的なものがわかるので、会議も混乱せずに進む気がしました。
