出版社内容情報
半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。
内容説明
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
目次
第１章 半導体製造装置を取り巻く現状
第２章 半導体製造装置をファブから理解する
第３章 洗浄・乾燥装置
第４章 イオン注入装置
第５章 熱処理装置
第６章 リソグラフィー装置
第７章 エッチング装置
第８章 成膜装置
第９章 平坦化（ＣＭＰ）装置
第１０章 検査・測定・解析装置
第１１章 後工程装置
著者等紹介
佐藤淳一［サトウジュンイチ］
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。
感想・レビュー
※以下の感想・レビューは、株式会社ブックウォーカーの提供する「読書メーター」によるものです。
閑居
11
イマイチわかりにくい本だった。平面的な模式図は豊富だが、写真や立体感のある図は少なく、初見では装置の構造をイメージしにくい。また、装置毎の説明は豊富だが製造プロセスの全体像の解説に乏しく全体像を見通しにくい。わかったような分からないような。2022/07/24
ゼロ投資大学
3
半導体の製造に欠かせない半導体製造装置の基本を学んでいく。半導体市場は数十兆円で、半導体製造装置市場はその十分の一ほどであるものの、半導体の末端製品まで含めると市場規模は莫大なものとなる。半導体の微細化が進むにつれて、半導体製造装置も複雑で高額になってきた上に、数百もの工程を経なければならないので概要だけ押さえておきたい。2024/03/01
phantom感
1
事務系には全くわからないから、諦めた🥺おい、京都大学大学院工学研究科修士課程修了→TDK→SONYの佐藤淳一、お前ならもっとやれるはず✋💦
スクワッター
0
難解。2022/02/05
Inu
0
洗浄装置を知りたくて他にも全体のことを知らないなと思って購入。レビューで書いてある日本語の難しさは内容の難しさではなく文章構成の問題かと。話が飛んだり分かりやすい誤字があったり。こういうとこは編集部がちゃんと見てあげれば、、、内容は取っ掛かりということでは聞いたことある言葉たちが整理されたと思うので良かった。最初に全体の話を書いてくれているのも良かった。こういう入門書の後に読む本ってあるのだろうかと思うけどそれはこの本とは別の話なので、シリーズ的にはプロセスの本を読もうか読むまいか。2021/09/06
