内容説明
わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。
目次
第１章 よい暮らしは美と微から
第２章 真空は薄膜づくりの貴重な環境
第３章 薄膜をつくろう
第４章 薄膜には独特の性質が表れる
第５章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術
第６章 薄膜づくりにはプラズマが大切
第７章 古くから用いられた蒸着法
第８章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法
第９章 気体から薄膜をつくる気相成長法
第１０章 液体の中で薄膜をつくる―めっき
第１１章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
第１２章 薄膜を使って前進―その可能性はかぎりない
著者等紹介
麻蒔立男［アサマキタツオ］
１９３４年、愛知県生まれ。１９５７年に静岡大学工学部電子工学科を卒業後、日本電気株式会社に入社、１９６７年から日電バリアン（現キヤノンアネルバ）に出向。１９９０年より２０１０年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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感想・レビュー
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しょ～や
0
とても勉強になった。2017/07/09
黒とかげ
0
興味深い。気がつかないうちに、様々なところで使われているだろうな。例えばこの文字を書いている道具とか。2021/05/13
