内容説明
本書はいわゆる“先端技術”として今後の薄膜を考える立場で、薄膜材料と材料製造技術としての製膜技術を取り上げ、これらの現状および将来の展望についてわかりやすく説明し、この分野にあまり関わりがなかった人達にも興味を持って戴けるように心がけた。
目次
第1章 材料としての薄膜
第2章 材料開発ならびに材料作製技術としての薄膜技術
第3章 表面改質膜材料
第4章 機能膜材料
第5章 金属薄膜材料
第6章 無機・セラミック薄膜材料
第7章 有機・ポリマー薄膜材料
第8章 半導体薄膜材料
第9章 薄膜材料のキャラクタリゼーション
第10章 薄膜材料の物性測定
-
- 和書
- 変わるしかなかった。