ナノテクノロジー―ハイテクを支える超精密科学

田中 充/小林 直人【共著】

産業図書（1988/10発売）

• サイズ B6判／ページ数 238p／高さ 19X14cm
• 商品コード 9784782835326
• NDC分類 501.22

内容説明

原子・分子レベル、ナノ領域の計測や加工は、様々な量子効果を明らかにし、また新しい機能を付加し、発現させる。本書はこの多様で複雑な技術を整理しわかりやすく解説してある。

目次

第１章　なぜナノテクノロジーなのか
第２章　ナノメトロロジーとナノテクノロジー
第３章　電子、イオン、Ｘ線によるナノメートル計測
第４章　ナノメートルの標準、干渉、波動、光による計測
第５章　ナノスコープ
第６章　ナノメートル加工
第７章　ナノテクノロジーの応用
第８章　ナノテクノロジーの将来