出版社内容情報
フォトレジスト材料および露光技術の特長を最大限に発揮させるためのレジストプロセス技術の最適化を徹底解説した1冊。
目次
第1編 総論
第2編 フォトレジスト材料の開発
第3編 フォトレジスト特性の最適化と周辺技術
第4編 材料解析・評価
第5編 応用展開
第6編 レジスト処理装置
フォトレジスト材料および露光技術の特長を最大限に発揮させるためのレジストプロセス技術の最適化を徹底解説した1冊。
第1編 総論
第2編 フォトレジスト材料の開発
第3編 フォトレジスト特性の最適化と周辺技術
第4編 材料解析・評価
第5編 応用展開
第6編 レジスト処理装置