目次
０章 半導体製造装置という世界
１章 半導体デバイスの製造工程
２章 半導体製造装置の技術史
３章 半導体製造装置の種類と役割
４章 半導体製造装置の構成と方式
５章 各種半導体製造装置の概要
６章 半導体製造装置の現場
７章 半導体製造装置の技術要素
８章 半導体製造装置技術のロードマップ
９章 ２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論
著者等紹介
前田和夫［マエダカズオ］
１９５９年横浜国立大学工学部化学工学科卒業。１９５９～１９７８年富士通（株）勤務。１９７７年東京大学より工学博士号授与。１９７８～１９８２年パイオニア（株）勤務。１９７９年米国ＳＥＭＩ（半導体装置材料協会）よりＳＥＭＭＹ賞授与。１９８２～１９８８年アプライドマテリアルジャパン（株）勤務。１９８８年（株）半導体プロセス研究所設立。２００８年９月逝去（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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