内容説明
より高度・小型化する部品の製造に当たっては、それに対応する洗浄・乾燥システムの構築が重要であり、そのためには広範囲にわたる専門知識を早く入手することが必要である。また、洗浄系が環境に与える影響の低減や、各種法規制の強化への対応、新しい洗浄剤・洗浄技術に関する知識の吸収など、日々新たな局面が生じているといえる。洗浄システムの構築や作業現場での直接的活動の中で、本書を参考とすれば、よりよい洗浄システム作りに必ずや役立つことだろう。
目次
第1章 洗浄剤
第2章 洗浄装置
第3章 乾燥装置
第4章 洗浄ユーテリティ
第5章 洗浄装置部品類
第6章 洗浄部品