目次
第1編 精密・超精密位置決めの基礎(精密位置決め技術の基礎;位置決め用構成要素の基礎;精密位置決め機構の基礎 ほか)
第2編 精密・超精密位置決めの設計のポイント(高精度設計のポイント;縦型テーブルの設計のポイント;送り速度別の設計のポイント ほか)
第3編 事例編(構造事例;制御事例)
第1編 精密・超精密位置決めの基礎(精密位置決め技術の基礎;位置決め用構成要素の基礎;精密位置決め機構の基礎 ほか)
第2編 精密・超精密位置決めの設計のポイント(高精度設計のポイント;縦型テーブルの設計のポイント;送り速度別の設計のポイント ほか)
第3編 事例編(構造事例;制御事例)