超ＬＳＩ技術〈２１〉デバイスとプロセス その１１

西沢 潤一【編】

工業調査会（1997/07発売）

• サイズ B5判／ページ数 326p／高さ 28cm
• 商品コード 9784769311560
• NDC分類 549.8
• Cコード C3055

目次

１章　マルチメディアＬＳＩと低消費電力設計技術
２章　論理照合ＣＡＤの先端技術
３章　ギガビット時代のスタック型ＤＲＡＭセル技術
４章　ギガビット世代を指向したＤＲＡＭトレンチ・セル技術
５章　フラッシュメモリの高集積化技術
６章　ＳＲ露光技術
７章　ウェット洗浄・表面処理技術
８章　微細線チタンシリサイド技術
９章　半導体表面におけるフラーレン分子の吸着及び薄膜形成