内容説明
ＡＦＭは、酸化した金属や半導体表面の測定はもちろん、絶縁体の表面すら高分解能で観測が可能なので、空気中での材料物性評価や微小寸法計測やプロセス加工評価やデバイス評価などの、「エンジニアリング・ツール」として、急速に普及してきた。しかしながら、エンジニアリング・ツールとして発展してきたＡＦＭには、多くの未解明の疑問を残していた。本書では、疑問点の解明に関連するＡＦＭの最近の新しい展開について紹介する。
目次
第１章 “小さいてこ”を走査する原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）
第２章 “小さいてこ”を接触させて見る
第３章 “小さいてこ”を非接触にして見る
第４章 “小さいてこ”で原子や分子を動かす
第５章 ＡＦＭとは？
