分子線エピタキシー技術

高橋清（電子工学）

工業調査会（1984/01発売）

• サイズ A5判／ページ数 415p／高さ 22cm
• 商品コード 9784769310365
• NDC分類 549.8
• Cコード C3055

感想・レビュー

※以下の感想・レビューは、株式会社ドワンゴの提供する「読書メーター」によるものです。

[椎茸うま子]

MBEの技術的な基本から、実際の成膜、さらにはMBEで作製したヘテロ接合のデバイス応用や、リソグラフィ技術まで紹介されていて、研究室の後輩にも安心して勧められる一冊。古い本だが、MBE技術の基本はすでに完成されたものなので、今でも通用する技術書。