内容説明
エレクトロニクスにおける重要な材料の一つが薄膜である。薄膜の役目は超微細な接続を行うことであり、バルクには期待できない性能・特性を実現することである。本書は、エレクトロニクスデバイスにおける薄膜の働きを解説した。
目次
第1章 薄膜形成用材料
第2章 Si ICデバイス
第3章 GaAs ICデバイス
第4章 光デバイス
第5章 センサデバイス
第6章 表示デバイス
第7章 入力と記録・記憶デバイス
第8章 エレクトロニクス部品
第9章 将来のデバイス
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