はじめての薄膜作製技術 (第2版)

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はじめての薄膜作製技術 (第2版)

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  • サイズ A5判/ページ数 160p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784627774520
  • NDC分類 549
  • Cコード C3055

内容説明

薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。

目次

第1章 薄膜とは
第2章 薄膜作製技術の基礎
第3章 真空蒸着法
第4章 スパッタリング法
第5章 化学気相成長法
第6章 薄膜の評価技術
第7章 薄膜作製技術の応用

著者等紹介

草野英二[クサノエイジ]
1983年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。日本板硝子株式会社入社。1995年日本板硝子株式会社退社。金沢工業大学工学部助教授。2001年金沢工業大学工学部教授。2008年金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。