出版社内容情報
走査電子顕微鏡（SEM）は，電子線で試料表面を走査することで，試料表面形状だけではなく，試料の元素組成や結晶方位，化学結合状態など，さまざまな情報を得られる手法であり，多様な試料の観察・分析に広く用いられている．
本書はSEMの基礎的・理論的な解説から，多様な試料の種類ごとに試料の調整法や観察手法を実例とともに解説．
さらに発展的なデータの機械学習による解析や自動化についても扱う．
SEMの初心者からさまざまな分野での応用を検討している上級者まで，必携の一冊．
【目次】
1 走査電子顕微鏡（SEM）とは何か
1.1 なぜSEMで表面観察ができるのか
1.2 なぜSEMで分析ができるのか
1.3 SEMの歴史
2 SEMの像形成の基礎
2.1 二次電子・反射電子の発生
2.1.1 概要
2.1.2 二次電子の生成と放出
2.1.3 反射電子の生成と放出
2.2 像のコントラスト
2.2.1 コントラストの基本概念
2.2.2 SEM像のコントラストを決める要因
2.2.3 実際のSEM像コントラストの例
2.2.4 画像処理によるコントラスト強調
2.3 SEMのプローブ径
2.3.1 プローブ径の定義
2.3.2 電子源の輝度
2.3.3 球面収差
2.3.4 色収差
2.3.5 回折収差
2.3.6 プローブ径の最小化
2.3.7 プローブ径と観察条件
2.4 SEMの像分解能評価
2.4.1 ギャップ分解能
2.4.2 エッジ分解能
2.4.3 像シャープネス
3 SEMの装置
3.1 電子源と電子照射系
3.1.1 電子銃
3.1.2 電子照射系
3.2 対物レンズと検出器
3.2.1 対物レンズの種類
3.2.2 検出器
3.2.3 信号検出系
3.3 低真空観察・低加速電圧観察が可能な装置
3.3.1 低真空SEMで帯電現象が抑制される原理
3.3.2 低真空SEMの歴史と用途
3.3.3 低真空観察のコツ
3.3.4 低加速電圧観察
3.4 付属装置（EDS, WDS, EBSD, CL, ラマン）
3.4.1 元素分析装置
3.4.2 後方散乱電子回折装置
3.4.3 カソードルミネッセンス装置
3.4.4 ラマン分光装置
4 走査電子顕微鏡観察の実際
4.1 測定条件の設定
4.1.1 加速電圧
4.1.2 コンデンサレンズ電流
4.1.3 作動距離
4.1.4 対物絞り
4.1.5 電子光学系の軸調整
4.1.6 非点補正
4.2 画像の取得
4.2.1 SEMの画像取得技術の進歩
4.2.2 画像デジタル化の恩恵
4.2.3 画素数とdwell timeの選択
4.3 試料の準備
4.3.1 サイズ調整
4.3.2 洗浄・乾燥
4.3.3 ホルダーへの試料固定方法
4.3.4 ホルダーの高さ調整
4.4 試料前処理
4.4.1 真空や電子線照射が観察試料に与える影響と対策
4.4.2 前処理もほどほ
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