表面分析技術選書 Ｘ線光電子分光法 （第２版）

日本表面真空学会【編】

丸善出版（2025/11発売）

• サイズ A5判／ページ数 224p／高さ 21cm
• 商品コード 9784621312148
• NDC分類 433.5
• Cコード C3342

出版社内容情報

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするX線光電子分光法（XPS）は，半導体デバイスの微細化，触媒，電池材料，有機薄膜など，先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として，その重要性を増している．
本書は，実用的なXPS入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である．理論から測定・解析，そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する．1～5章で，光電子発生の原理，装置構成，試料調製，測定・解析の要点といった，測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説．新設の6章「応用・発展」では，雰囲気測定，イメ


【目次】

1　X線光電子分光法（XPS）とは何か
　1.1　光電子分光法の特徴
　　◆コーヒーブレイク◆　光電子分光法で得られる情報とエネルギーの関係
　1.2　なぜXPSで表面を分析できるのか
　1.3　なぜXPSで元素組成を分析できるのか
　1.4　なぜXPSで化学状態を分析できるのか
　1.5　XPSの歴史と最近の潮流

2　光電子発生の原理
　2.1　励起光の入射
　　2.1.1　光のエネルギーと偏光
　　2.1.2　エネルギーの単位

内容説明

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）は、半導体デバイスの微細化、触媒、電池材料、有機薄膜など、先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として、その重要性を増している。本書は、実用的なＸＰＳ入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である。理論から測定・解析、そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する。１～５章で、光電子発生の原理、装置構成、試料調製、測定・解析の要点といった、測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説。新設の６章「応用・発展」では、雰囲気測定、イメージング、時間分解測定など、最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した。ＸＰＳを初めて学ぶ学生から、実務に携わる研究者まで、すべての方の指針となる必携の一冊。

目次

１　Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）とは何か
２　光電子発生の原理
３　ＸＰＳ装置の原理と基礎
４　測定法
５　データ解析
６　応用・発展