表面分析技術選書 二次イオン質量分析法 （第２版）

日本表面真空学会

丸善出版（2025/05発売）

• サイズ A5判／ページ数 240p／高さ 21cm
• 商品コード 9784621311356
• NDC分類 433.2
• Cコード C3342

出版社内容情報

二次イオン質量分析法（SIMS）は，試料表面にイオンビームを照射し，飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し，さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である．金属や半導体から高分子材料, 生体試料にも適用できる分析法として，多くの研究分野で活用されている．
25年ぶりの大改訂となる本書では，重要性の高い基礎的な内容だけでなく，目的別の応用例を大幅に拡充．これからSIMSを使い始める学生はもちろん，現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊．

内容説明

二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である。金属や半導体から高分子材料、生体試料にも適用できる分析法として、多くの研究分野で活用されている。２５年ぶりの大改訂となる本書では、重要性の高い基礎的な内容だけでなく、目的別の応用例を大幅に拡充。これからＳＩＭＳを使い始める学生はもちろん、現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊。

目次

１　二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）とは何か（なぜＳＩＭＳで表面分析ができるのか；なぜＳＩＭＳで深さ方向分析ができるのか　ほか）
２　ＳＩＭＳの原理（スパッタリング収率；二次イオン化率と二次イオン収率　ほか）
３　ＳＩＭＳ装置の基礎（装置の概略；一次イオン照射系　ほか）
４　ＳＩＭＳによる測定の実際（試料の準備；無機物の定性分析　ほか）
５　ＳＩＭＳの応用・発展（無機物・金属・半導体の測定および元素分析；有機物・高分子の測定　ほか）