薄膜工学

金原 粲【監修】/白木 靖寛/吉田 貞史【編著】

丸善出版（2003/03発売）

• サイズ A5判／ページ数 310p／高さ 21cm
• 商品コード 9784621071434
• NDC分類 549
• Cコード C3042

内容説明

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。

目次

１　総論（薄膜の機能と応用；薄膜形成技術；膜成長過程とエピタキシー；薄膜の歴史）
２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング法；化学気相成長法）
３　薄膜の機能（半導体薄膜；光学薄膜；有機薄膜；誘電体薄膜；磁性薄膜）
４　薄膜の性質と応用（膜厚測定法；薄膜の機械的・力学的性質；薄膜の化学的性質；電子デバイスへの応用）

著者等紹介

金原粲［キンバラアキラ］
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

白木靖寛［シラキヤスヒロ］
東京大学大学院工学系研究科

吉田貞史［ヨシダサダフミ］
埼玉大学工学部
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。