電子材料シリーズ サブミクロンデバイス〈１〉

小柳 光正【著】/田中 昭二/笛木 和雄/生駒 俊明/岸野 正剛/北沢 宏一/鯉沼 秀臣/長谷川 文夫/平賀 貞太郎【編】

丸善出版（1987/07発売）

• サイズ A5判／ページ数 232p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784621043523
• NDC分類 549.7
• Cコード C3355

内容説明

本書は、二次元効果や高電界化の問題、高集積化されたデバイスの信頼性の確保といった問題を、ショートチャネルＭＯＳトランジスタの動作原理より説き起こし、サブミクロンデバイスを基礎から本格的に解説しています。

目次

１　ＭＯＳデバイスの基礎（ＭＯＳトランジスタの概要；長チャネルＭＯＳトランジスタの動作原理；短チャネルＭＯＳトランジスタの動作原理）
２　ＶＬＳＩの基礎（ＶＬＳＩの基本回路；ＶＬＳＩ回路）
３　サブミクロンデバイス（微細形状効果；ＣＭＯＳデバイスとラッチアップ）