応用物理工学選書<br> 薄膜

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応用物理工学選書
薄膜

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  • サイズ A5判／ページ数 300p／高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784563023331
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3342

目次

１章　薄膜の作製
２章　薄膜の膜厚と構造、組成
３章　薄膜の機械的・熱的性質
４章　薄膜の電気的・磁気的性質
５章　薄膜の光学的性質
６章　半導体薄膜