わかりやすい真空技術 (第3版)

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  • サイズ A5判/ページ数 256p/高さ 21cm
  • 商品コード 9784526064258
  • NDC分類 534.93
  • Cコード C3053

目次

真空の基礎
真空計測
真空ポンプ
真空システムの構成と実際の排気
リークテスト
真空装置の管理
真空用材料と部品
真空応用技術

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