内容説明
本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。
目次
第１章 人類の夢を実現する薄膜
第２章 薄膜作成に欠かせない真空
第３章 薄膜の構造と性質、その作成法
第４章 蒸着法で作る薄膜
第５章 スパッタ法で作る薄膜
第６章 気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜
第７章 めっき薄膜
第８章 エッチングと平坦化の技術
著者等紹介
麻蒔立男［アサマキタツオ］
昭和９年愛知県に生まれる。昭和３２年静岡大学工学部電子工学科卒業、日本電気株式会社に入社。昭和４２年日電バリアン（現、アネルバ）株式会社設立と同時に出向。昭和４９年工学博士。昭和５１年～５２年日本真空協会理事、研究部会長。昭和６１年日電アネルバ（株）取締役。平成２年東京理科大学教授、平成１年～９年日本真空協会個人理事。昭和６０年高速スパッタ装置の発明により東京都知事賞受賞（関東地方発明表彰）。平成１３年第２６回技術賞受賞（日本真空協会）。現在、東京理科大学嘱託教授。日本真空協会評議員
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感想・レビュー
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OjohmbonX
2
「前書き」の後に「コラム」がいきなり挟まっていて、しかも内容が「薄膜は夢を追い続ける技術なのだ」みたいなこと書いていて熱い男！ 技術書には珍しい。ところで見開き1テーマ、片頁に説明、もう片頁に図表のスタイルはトコトンシリーズ以外でも見かけるけれど、一覧性がいいようでむしろ結構分かりづらい。説明をもっと欲しいところが無理やり端折られていることが多くて。見開き1テーマは堅持して図表と文章の配分は自由というスタイルが一覧性と分かりやすさのバランスを取り易いのかも。本書も「知ってて読むと分かる」みたいな所が多々。2011/09/28
クロック
1
トコトン2冊目。思っていたより詳しく書いてあり、難しかった。薄膜作成のやり方が学べました。2016/02/14
