出版社内容情報
ＪＩＳ表記に準じた定評のある用語辞典の第５版．半導体の製造装置だけでなく，半導体の基礎事項から応用までの用語を含め製造工程順に並べて解説．最新資料を追加，特にウエ－ハ処理工程，検査工程，設備・環境工程用語を充実させている．
内容説明
第５版では、半導体を取り巻く環境の急変に合わせ、新規用語２３８語を採用し、掲載用語総数は２６３６語になった。各工程別では、「設計工程」が用語の構成を変更し、「ウェーハ処理工程」ではＣＭＰ関連の用語を大幅に増やした。「組立工程」ではグラインディングの項を新設し、「設備・環境工程」は安全規格用語の見直しを図った。
目次
第１章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章 設計工程用語
第３章 マスク製作工程用語
第４章 ウェーハ製造工程用語
第５章 ウェーハ処理工程用語
第６章 組立工程用語
第７章 検査工程用語
第８章 設備・環境工程用語
