出版社内容情報
マイクロ加工に不可欠な４軸及び５軸制御による加工機械の開発と加工事例を中心に，基礎より解説．◆項目 摩擦なしサーボの原理と構造 超精密マシニングセンタの構造と制御 同時３軸制御超精密マイクロ形状加工 多軸拘束式クローズド構造 ほか
目次
第１章 超精密加工と要素技術
第２章 摩擦なしサーボの原理と構造
第３章 超精密マシニングセンタの構造と制御
第４章 超精密施削加工
第５章 マイクロストラクチャの超精密加工
第６章 マイクロ加工用単結晶ダイヤモンドバイトの開発
第７章 同時３軸制御超精密マイクロ形状加工
第８章 ３次元ＣＡＤによるマイクロ部品の超精密加工
第９章 多軸拘束式クローズド構造による剛性改善
第１０章 総括と展望
