電子顕微鏡で観るＬＳＩの世界―ＬＳＩはこうして生まれる

裏 克己/藤岡 弘【編】

日刊工業新聞社（1990/11発売）

• サイズ B5判／ページ数 111p／高さ 27X19cm
• 商品コード 9784526028298
• NDC分類 549.7
• Cコード C3054

目次

写真編（ＬＳＩの素顔；ＬＳＩの出来るまで；電子顕微鏡でＬＳＩの動作を観る；電子顕微鏡装置）
解説編（ＬＳＩの素顔；ＬＳＩの出来るまで；電子顕微鏡でＬＳＩの動作を観る；最近のトピックス）