出版社内容情報
フォトポリマー（感光性樹脂）は光源およびポリマー自体の進歩によって，その応用技術はより高度広角になっている．特にレジスト，メモリ，ホログラフィ等における役割は大きく，関連の諸技術は注目の的．本書は基礎から応用まで実務向けに解説．◎項目 フォトポリマーの基礎 光架橋 光重合 フォトポリマーの光工学 ［２＋２］トポケミカル光重合反応 フォトポリマーの光学と物理科学 解像度 フォトポリマーにおける計測と制御 センシメトリー フォトポリマー用光源・装置 フォトポリマー応用技術 製版材料 マイクロリソグラフィ ほか
内容説明
フォトポリマーの歴史は古く１９世紀前半にさかのぼる。もともと、印刷製版や金属のエッチング加工の材料として用いられていたが、電子工業の分野で各種デバイスや半導体製造に用いられるようになり、現在では先端材料として見なされるにいたっている。本書はできるだけ最新の情報を盛り込んだ、フォトポリマー全般の解説書となることを目標とした。
目次
１ フォトポリマーの基礎
２ フォトポリマーの光化学
３ フォトポリマーの光学と物理化学
４ フォトポリマーにおける計測と制御
５ フォトポリマー用光源・装置
６ フォトポリマー応用技術
７ マイクロリソグラフィ
