半導体製造装置用語辞典

半導体製造装置用語辞典

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  • サイズ A5判／ページ数 440p／高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784526022753
  • NDC分類 549.8

目次

第１章　半導体製造装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク作成工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語

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