小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法―μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法

肥後 矢吉【編著】

コロナ社（2015/07発売）

• サイズ A5判／ページ数 196p／高さ 22cm
• 商品コード 9784339046434
• NDC分類 501.4
• Cコード C3053

目次

１　シミュレーション
２　薄膜の弾性定数の精密計測法
３　微小材料や薄膜の材料強度評価法
４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
６　微細なものの接着・接合強度評価

著者等紹介

肥後矢吉［ヒゴヤキチ］
１９６８年東京工業大学工学部金属工学科卒業。１９７４年東京工業大学大学院博士課程修了（金属工学専攻）、工学博士。東京工業大学精密工学研究所助手。１９８７年東京工業大学精密工学研究所教授。１９９３年東京工業大学精密工学研究所教授。２０１０年東京工業大学名誉教授。立命館大学客員教授。２０１５年立命館大学上席客員研究員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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