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内容説明
本書は、広範な分野に応用されているプラズマの生成と診断について網羅した初めての成書である。50人近い第一線で活躍している研究者により執筆されている。本書の前半では、さまざまなプラズマ生成と診断に共通する基礎的考え方が述べられており、学部・大学院における教科書として、また、後半では、実際のプラズマ応用について記述されており、研究開発の現場においてハンドブック的にも利用できる。さらに、これから発展が期待される最先端のプラズマに関しても記述されている。本書は、これからプラズマ応用を目指す方々に確かな一本の道を指し示してくれるものである。
目次
1 プラズマとは
2 プラズマ生成の原理
3 プラズマ生成のための要素技術
4 プラズマ診断
5 材料プロセス用プラズマ
6 エネルギー・環境工学へのプラズマ応用
7 新しい物理領域のプラズマ