内容説明
本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
目次
１ 荷電粒子ビームの特質と利用形態
２ 電子とイオン
３ 電子の発生とビーム形成
４ イオンの発生とビーム形成
５ ビーム輸送と操作
６ ビームと固体原子の相互作用
７ 高周波エネルギー変換デバイス
８ 荷電粒子ビーム装置
著者等紹介
石川順三［イシカワジュンゾウ］
１９６８年京都大学工学部電子工学科卒業。１９７０年京都大学大学院修士課程修了（電気工学第二専攻）。１９８１年工学博士（京都大学）。１９８４年京都大学助教授。１９８９年京都大学教授。現在に至る
沼崎一郎［ヌマザキイチロウ］
ミシガン州立大学大学院博士課程修了（Ｐｈ．Ｄ．）、東北大学大学院文学研究科助教授。専攻は、文化人類学、東アジア研究、人権論、男性学。１９９７年９月より、キャンパス・セクシュアル・ハラスメント全国ネットワーク東北ブロック代表として、大学におけるセクシュアル・ハラスメント問題に取り組む。夫婦別姓選択制実現と婚外子差別撤廃のための民法改正運動、支配的な「男らしさ」を問い直す男性運動にも参加。育児と市民運動の両立を目指す一児の父
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感想・レビュー
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したぎ
0
授業でざっくり読んだ。途中までだが先に読むことがなさそうなので読了。2014/08/11
nobot
0
この分野の本としては，分かりやすかった．内容も豊富だし，教科書的に使える．2013/04/24
STEM読書会
0
半分くらい読んだ 2020/01/21
