演習 集積回路工学

演習　集積回路工学

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演習　集積回路工学

永田穣/川辺潮【共著】
価格 ¥2,640（本体¥2,400）
コロナ社（1997/04発売）
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サイズ A5判／ページ数 192p／高さ 22cm
商品コード 9784339006742
NDC分類 549.7
Cコード C3055

半導体集積回路の生産性
ｐｎ接合とその特性
バイポーラトランジスタの構造とプロセス
バイポーラトランジスタの特性
酸化膜の形成
ＭＯＳトランジスタの構造と特性
ＭＯＳトランジスタのしきい値電圧
ホトレジスト加工のパターン限界
加工精度とトランジスタ特性ばらつき
バイポーラトランジスタのデバイス定数と特性〔ほか〕